FE系列圆形磁控溅射阴极

产品简介

圆形阴极设计特点： 1、水冷采用大截面直接水冷结构，缩短磁铁和靶材间距； 2、主体支架采用聚四氟乙烯材料，提高了绝缘性能； 3、所有电的引入部分，采用高纯无氧铜材料，降低了接入电阻分布； 4、磁铁采用高均匀性钕铁硼材料，提高了水平磁场强度和分

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圆形阴极设计特点：

1、水冷采用大截面直接水冷结构，缩短磁铁和靶材间距；

2、主体支架采用聚四氟乙烯材料，提高了绝缘性能；

3、所有电的引入部分，采用高纯无氧铜材料，降低了接入电阻分布；

4、磁铁采用高均匀性钕铁硼材料，提高了水平磁场强度和分布均匀性。

磁控溅射阴极具有如下优点：

1、适用于高功率密度溅射，溅射速率高；

2、溅射阴极使用寿命长；

3、靶材利用率高，达到40%以上；

4、溅射薄膜厚度均匀性和成份一致性好，可以达到±3%以内；

圆形阴极规格：