福宜氢能金属极板涂层及设备产业化方案
    来源:本站  作者:洪昕彤  时间:2020-05-23 08:24  点击:  【打印此页】 【返回上一页】  【关闭

    在氢燃料电池电堆中,金属板电堆相比于石墨板电堆,具有比功率密度高、结构强度高、低温自启动能力强、生产工艺工序少易于批产、量产成本低等优势。金属板需具备并维持高导电性、低电阻率、耐腐蚀的长寿命,都要靠涂层来实现。

    上海福宜依托中科院上海微系统与信息技术研究所,消化吸收国际知名真空镀膜设备的技术优势,自主研发优化,掌握真空镀膜关键零部件的核心技术,自行制造的设备达到了国际先进同类水平,而成本不超过进口设备的50%,金属板涂层性能,经过国内知名研究机构检测,达到了接触电阻小于3mΩ*cm²、腐蚀电流0.2μA/cm²的技术水平,并在不断优化改进中。氢能方面主要涂层客户有国内知名央企、核心电堆、汽车厂等十余家相关企业。其中一台金属极板涂层设备自19年11月签订合同后,已于今年3月至客户现场安装调试成功。

    随着氢燃料电池的应用推广,当金属板需求达到年产百万片级别的时候,福宜有适应不同阶段的设备方案,使涂层成本降到10-20元/片,完全能满足产业化要求。

     

     

    福宜
    涂层设备(部分)

     

    一、单机镀膜设备(3维转架)FE-1800

     

     

    1:应用领域

    (1)高端金属双极板涂层制备。
    2:产品优势
    (1)可以实现磁控、PECVD、热丝、 离子辅助和多弧复合;
    (2)适合制备碳膜和金属薄膜;
    (3)可以进行连续稳定长时间工作。 
    3:技术参数
    (1)PVD兼容PECVD工作模式。单室装炉量24-48片,1炉/4小时。
    (2)技术指标:1.5MPa,接触电阻小于3mΩ*cm²;0.6V, 80℃,0.5M(H2SO4)+5ppm(F)腐蚀电流0.2μA/cm²,加速腐蚀寿命50小时以上。
    (3)工作产量:3万片/年以上。

     

     

     

    二、单机镀膜设备(3维转架)FE-2600

     

     

     

    1:应用领域

    (1)高端金属双极板涂层制备。
    2:产品优势
    (1)可以实现磁控、PECVD、热丝、 离子辅助和多弧复合;
    (2)适合制备碳膜和金属薄膜;
    (3)可以进行连续稳定长时间工作。
    3:技术参数
    (1)PVD兼容PECVD工作模式。单室装炉量50-100片,1炉/4小时。
    (2)技术指标:1.5MPa,接触电阻小于3mΩ*cm²;0.6V, 80℃,0.5M(H2SO4)+5ppm(F)腐蚀电流0.2μA/cm²,加速腐蚀寿命50小时以上。
    (3)工作产量:每炉100片,4小时/炉。12万片/年以上。

     

     

     

    三、立式镀膜流水线FE-1350


     

     

     

     

    1:应用领域

    低成本高端金属双极板涂层制备。

    2:产品优势

    (1)可以实现磁控、PECVD、热丝、 离子辅助和多弧复合

    (2)适合制备厚度适中的多层膜;       

    (3)高产能、高效率

    3:技术参数

    (1)1.5MPa,接触电阻小于3mΩ*cm²;0.6V, 80℃,0.5M(H2SO4)+5ppm(F)腐蚀电流0.2μA/cm²,加速腐蚀寿命50小时以上。

    (2)以半连续式工作方式,工作产量:100万片/年以上

     

     

     

    福宜
    涂层服务

    科学生产流程

     

     

     

     
    福宜
    公司简介
     
    上海福宜真空设备有限公司,是致力于高端真空镀膜设备、先进镀膜工艺和真空设备核心部件的研发、生产、销售及技术服务,为一体的高新技术企业。公司开发的主要设备有:工模具硬质涂层镀膜设备、磁控溅射镀膜设备、多弧离子镀膜设备、磁控溅射复合多弧离子镀镀膜设备、连续线式磁控溅射镀膜生产线、光学镀膜设备、CVD和PECVD化学气相沉积等系列真空镀膜和表面处理设备。
    公司创始人和核心技术团队,致力于先进镀膜工艺的开发。镀膜工艺和设备集成的理论和实际相结合,是公司发展的主要特色。公司投入超过3000万元,重点开发的核心部件主要有:高材料利用率(材料利用率超过40-60%以上)矩形平面磁控溅射阴极、产业用旋转磁控溅射阴极(材料利用率达到80%以上)、线性离子源、多弧阴极、多弧过滤阴极和多弧旋转柱状阴极等。通过核心部件的研发,提升了公司整机设备的技术水平、性价比和核心竞争力,主要技术达到国际同期最好水平。
    公司核心技术团队,具有多年军工企业和科研院所的工作经历。公司同时发挥上海科研院所集中的优势,和中国科学院上海微系统与信息技术研究所建有联合实验室,该实验室拥有多台套世界先进真空设备,具有国际领先的新能源、储能和功能薄膜材料制备工艺技术。公司和上海交通大学、同济大学、华东师范大学和东华大学等高校建立了紧密合作关系,强强联合、优势互补,开发真空设备和镀膜工艺等核心技术。公司组建了近20名由博士、硕士和副高以上职称工程技术人员组成的研发团队;公司拥有净化等级优于1万级的装配车间。从软件到硬件,公司在产品开发方面积极投入,确保公司产品和技术服务水平达到国内领先。
    福宜以“用户第一、质量第一”为发展理念,以提升我国真空镀膜和表面处理、装备制造和核心部件的研发和制造水平为己任,和业界同仁广泛交流合作,使国内制造技术走向世界领先水平!