大面积溅射流水线，立式设计，避免了靶材和溅射样品之间的污染问题；传动采用磁流体密封轴承，磁悬浮定位，样品运行稳定，降低了设备真空维护成本，提高了生产效率和产品良品率。导电材料采用旋转靶溅射，材料利用率达到90%；非导电材料采用矩形平面靶非平衡

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大面积溅射流水线，立式设计，避免了靶材和溅射样品之间的污染问题；传动采用磁流体密封轴承，磁悬浮定位，样品运行稳定，降低了设备真空维护成本，提高了生产效率和产品良品率。导电材料采用旋转靶溅射，材料利用率达到90%；非导电材料采用矩形平面靶非平衡磁场设计，材料利用率达到60%。