FE- A系列复合分子泵 由涡轮分子泵和盘式牵引泵组合而成,它同时具有涡轮分子泵分子流时抽速大、压缩比高,牵引泵高压强时抽速大、压缩比高的特点,扩展了分子泵的应用范围。 复合分子泵对被抽气体无选择性、无记忆效应,由于对分子量大的气体有很高的压缩比

产品说明技术参数 应用案例样品图片

FE-A系列复合分子泵由涡轮分子泵和盘式牵引泵组合而成,它同时具有涡轮分子泵分子流时抽速大、压缩比高,牵引泵高压强时抽速大、压缩比高的特点,扩展了分子泵的应用范围。

复合分子泵对被抽气体无选择性、无记忆效应,由于对分子量大的气体有很高的压缩比,因此该泵不需要冷阱和油挡板即可获得清洁的高真空和超高真空。其广泛应用于光伏、照明、宇航、半导体、能源、军工、激光、家电、材料、汽车等真空技术的各个领域。

该系类安装方式   垂直安装

 

FE-A系列复合分子泵参数表

技术数据

FE-MPP600A复合分子泵

FE-MPP1200A复合分子泵

FE-MPP1600A复合分子泵

高真空法兰(mm)

150 CF

160 ISO-K

200 CF

200 ISO-K

250 CF

250 ISO-K

前级管道法兰(mm)

40 KF

40 KF

50 KF

抽气速(L/S)

600

1200

1600

压缩比

N2

>109

>109

>109

H2

>8X103

>1X104

>1X104

极限压强(Pa)

<8×10-8

<5×10-7

<8×10-8

<5×10-7

<8×10-8

<5×10-7

电机转数(n/min)

24000

24000

21000

振动值

≤0.1μm

≤0.1μm

≤0.15μm

启动时间(min)

<5

<5

<6

建议采用的前级泵

4-8 L/S

8-15 L/S

15 L/S

冷却方式

水冷(风冷)

水冷(风冷)

水冷(风冷)

风冷泵环境温度

≤25

≤25

≤25

水冷冷却水温度

≤20

≤20

≤20

水冷冷却水流量(L/min)

1

1

1

泵体烘烤温度

<120℃

<120℃

<120℃

加热器功率(w)

<550

<600

<700

加热器输入电压(v)

AC220

AC220

AC220

安装方向

垂直±5°

垂直±5°

垂直±5°

泵重量(kg)

≈29

≈34

≈39

 

 

                                               FE-A系列复合分子泵对大气的抽速曲线

 

                                        FE-A系列复合分子泵对氮气及氢气的压缩比曲线

 

                                   

 

FE-A系列复合分子泵安装尺寸表

数据

FE-MPP600A复合分子泵

FE-MPP1200A复合分子泵

FE-MPP1600A复合分子泵

高真空法兰

150 CF

160 ISO-K

200 CF

200 ISO-K

250 CF

250 ISO-K

D1

φ202

φ180

φ253

φ240

φ305

φ290

D2

φ236

φ236

φ267

φ267

φ296

φ296

D3

□145.7

□145.7

□167.6

□167.6

□183.8

□183.8

L1

128

128

142

142

161

161

L2

137

137

152

152

166

166

H1

395.5

395.5

393

393

394

394

H2

108

108

108

108

110

110

H3

135.5

135.5

135.5

135.5

142.5

142.5

H4

104

104

104

104

104

104

泵腿螺钉孔

4-M8

4-M8

4-M8

4-M8

4-M8

4-M8