FE- A系列复合分子泵 由涡轮分子泵和盘式牵引泵组合而成,它同时具有涡轮分子泵分子流时抽速大、压缩比高,牵引泵高压强时抽速大、压缩比高的特点,扩展了分子泵的应用范围。 复合分子泵对被抽气体无选择性、无记忆效应,由于对分子量大的气体有很高的压缩比
FE-A系列复合分子泵由涡轮分子泵和盘式牵引泵组合而成,它同时具有涡轮分子泵分子流时抽速大、压缩比高,牵引泵高压强时抽速大、压缩比高的特点,扩展了分子泵的应用范围。
复合分子泵对被抽气体无选择性、无记忆效应,由于对分子量大的气体有很高的压缩比,因此该泵不需要冷阱和油挡板即可获得清洁的高真空和超高真空。其广泛应用于光伏、照明、宇航、半导体、能源、军工、激光、家电、材料、汽车等真空技术的各个领域。
该系类安装方式 垂直安装
FE-A系列复合分子泵参数表
技术数据
FE-MPP600A复合分子泵
FE-MPP1200A复合分子泵
FE-MPP1600A复合分子泵
高真空法兰(mm)
150 CF
160 ISO-K
200 CF
200 ISO-K
250 CF
250 ISO-K
前级管道法兰(mm)
40 KF
40 KF
50 KF
抽气速(L/S)
600
1200
1600
压缩比
N2
>109
>109
>109
H2
>8X103
>1X104
>1X104
极限压强(Pa)帕
<8×10-8
<5×10-7
<8×10-8
<5×10-7
<8×10-8
<5×10-7
电机转数(n/min)
24000
24000
21000
振动值
≤0.1μm
≤0.1μm
≤0.15μm
启动时间(min)
<5
<5
<6
建议采用的前级泵
4-8 L/S
8-15 L/S
15 L/S
冷却方式
水冷(风冷)
水冷(风冷)
水冷(风冷)
风冷泵环境温度
≤25℃
≤25℃
≤25℃
水冷冷却水温度
≤20℃
≤20℃
≤20℃
水冷冷却水流量(L/min)
1
1
1
泵体烘烤温度
<120℃
<120℃
<120℃
加热器功率(w)
<550
<600
<700
加热器输入电压(v)
AC220
AC220
AC220
安装方向
垂直±5°
垂直±5°
垂直±5°
泵重量(kg)
≈29
≈34
≈39
FE-A系列复合分子泵对大气的抽速曲线
FE-A系列复合分子泵对氮气及氢气的压缩比曲线
FE-A系列复合分子泵安装尺寸表
数据
FE-MPP600A复合分子泵
FE-MPP1200A复合分子泵
FE-MPP1600A复合分子泵
高真空法兰
150 CF
160 ISO-K
200 CF
200 ISO-K
250 CF
250 ISO-K
D1
φ202
φ180
φ253
φ240
φ305
φ290
D2
φ236
φ236
φ267
φ267
φ296
φ296
D3
□145.7
□145.7
□167.6
□167.6
□183.8
□183.8
L1
128
128
142
142
161
161
L2
137
137
152
152
166
166
H1
395.5
395.5
393
393
394
394
H2
108
108
108
108
110
110
H3
135.5
135.5
135.5
135.5
142.5
142.5
H4
104
104
104
104
104
104
泵腿螺钉孔
4-M8
4-M8
4-M8
4-M8
4-M8
4-M8
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