FE系列抗冲击分子泵对被抽气体无选择性、无记忆效应。由于对分子量大的气体具有很高的压缩比,因此该泵不需要冷阱和油挡板即可获得清洁的高真空和超高真空。 其性能指标与FE-A 系列相同。

产品说明技术参数 应用案例样品图片

 FE系列抗冲击分子泵对被抽气体无选择性、无记忆效应。由于对分子量大的气体具有很高的压缩比,因此该泵不需要冷阱和油挡板即可获得清洁的高真空和超高真空。其性能指标与FE-A系列相同。

该系列分子泵的安装方式 :   垂直安装

 

 

FE系列抗冲击分子泵安装尺寸表

数据

FE-MPP600K分子泵

FE-MPP1200K分子泵

FE-MPP1600K分子泵

高真空法兰

150 CF

160 ISO-K

200 CF

200 ISO-K

250 CF

250 ISO-K

D1

φ202

φ180

φ253

φ240

φ305

φ290

D2

φ236

φ236

φ267

φ267

φ296

φ296

D3

□145.7

□145.7

□167.6

□167.6

□183.8

□183.8

L1

128

128

142

142

161

161

L2

137

137

152

152

166

166

H1

395.5

395.5

393

393

394

394

H2

108

108

108

108

110

110

H3

135.5

135.5

135.5

135.5

142.5

142.5

H4

104

104

104

104

104

104

泵腿螺钉孔

4-M8

4-M8

4-M8

4-M8

4-M8

4-M8