FE系列抗冲击分子泵对被抽气体无选择性、无记忆效应。由于对分子量大的气体具有很高的压缩比,因此该泵不需要冷阱和油挡板即可获得清洁的高真空和超高真空。其性能指标与FE-A系列相同。
该系列分子泵的安装方式 : 垂直安装
FE系列抗冲击分子泵安装尺寸表
数据
FE-MPP600K分子泵
FE-MPP1200K分子泵
FE-MPP1600K分子泵
高真空法兰
150 CF
160 ISO-K
200 CF
200 ISO-K
250 CF
250 ISO-K
D1
φ202
φ180
φ253
φ240
φ305
φ290
D2
φ236
φ236
φ267
φ267
φ296
φ296
D3
□145.7
□145.7
□167.6
□167.6
□183.8
□183.8
L1
128
128
142
142
161
161
L2
137
137
152
152
166
166
H1
395.5
395.5
393
393
394
394
H2
108
108
108
108
110
110
H3
135.5
135.5
135.5
135.5
142.5
142.5
H4
104
104
104
104
104
104
泵腿螺钉孔
4-M8
4-M8
4-M8
4-M8
4-M8
4-M8
-