FE-MPP3600A 涡轮分子泵采用进口精密陶瓷轴承支撑，冷却方式为水冷，冷却水温度必须低于20 ℃。该泵转子经过整机动平衡，运转平稳可靠，电机为鼠笼式三相电机，轴承润滑采用锥孔轴自吸油润滑，简易可靠。
产品说明技术参数
应用案例样品图片
- FE-MPP3600A涡轮分子泵采用进口精密陶瓷轴承支撑，冷却方式为水冷，冷却水温度必须低于20℃。该泵转子经过整机动平衡，运转平稳可靠，电机为鼠笼式三相电机，轴承润滑采用锥孔轴自吸油润滑，简易可靠。
该分子泵安装方式： 垂直安装
FE-MPP3600A涡轮分子泵技术参数表
技术数据
FE-MPP3600A涡轮分子泵
进气口法兰
400 ISO-K
排气口法兰
100 ISO-K
抽气速(L/S)(对空气)
3600
压缩比
N2
>108
H2
>6X102
极限压强(Pa)
<2×10-6
电机转数(rpm)
12600
振动值
≤0.15μm
启动时间(min)
<10
停机时间(min)
<20
建议采用的前级泵（L／S）
30-70
冷却方式
水冷
水冷泵冷却水温度（℃）
≤20
水冷冷却水流量(L/min)
1
泵体烘烤温度（℃）
<80
环境温度（℃）
5-40
安装方向
垂直±5°
泵重量(kg)
≈100
-
