模具超硬膜离子 镀膜机 是为模具镀硬质或超硬保护膜而设计的。 真空镀膜机 真空镀室的真空密封和室内运动部件的设计和用材,充分考虑可承受高温,配置多只高效圆形电弧蒸发源,或配多个矩形平面电弧蒸发源,也可配多只空心阴极枪,同时配置耐冲击的、具有优

产品说明技术参数 应用案例样品图片

      模具超硬膜离子镀膜机是为模具镀硬质或超硬保护膜而设计的。真空镀膜机真空镀室的真空密封和室内运动部件的设计和用材,充分考虑可承受高温,配置多只高效圆形电弧蒸发源,或配多个矩形平面电弧蒸发源,也可配多只空心阴极枪,同时配置耐冲击的、具有优异灭闪弧性能的偏压电源,保证足够等离子体密度和反应活性,提高膜层致密性和结合力。

     工件可三维运动,提高膜层均匀性,全自动控制提高工艺稳定性,可镀制 TiN、TiC、TiCN、TiAlN、TiAlCN、TiCrN、TiCrCN、TiAlCrN、多层超硬膜等,应用于精密模具业(冲压模具、剪切模具、标准件模具、成型模具等)、工具行业(钻头、硬质合金、铣刀、拉刀、丝锥和齿轮刀具等),汽车工业(活塞、活塞环、合金轮毂等)。

 

型号 FE-380 FE-600 FE-650 FE-900
负载直径 380mm 600mm 650mm 900mm
负载高度 420mm 500mm 700mm 1200mm
转轴托盘 3 8-10 8-10 10-16
转轴悬挂 variable - - -
负载数量 250kg 500kg 500kg 1200kg
应用技术

ACACARCUBMDMS 
Arc&Sputtering PACVD 
Laser arcHIPIMS

ACACARCUBMDMS 
Arc&Sputtering PACVD 
Laser arcHIPIM

ACACARCUBMDMS 
Arc&Sputtering PACVD
ACACARCUBMDMS 
Arc&Sputtering PACVD
应用范围 工具涂层
汽车零部件装饰涂层
研发应用
大量工具涂层
研发
中型零部件涂层
大量小型零部件涂层
中型模具,拉刀涂层
装饰涂层
大量装饰涂层
大量大型汽车零部件涂层
大型挤压模,压铸模,拉刀

 

涂层 应用 显微硬度 厚度 摩擦系数 沉积温度
范围(℃)
最高工作
温度(℃)
应用技术 涂层系
统代码
TiN Tool 2500 1-6 0.7 <600 600 ACA/CARC
/HIPIMS
A
AlTiN Tool 2500-3500 1-6 0.4 <600 900 ACA/CARC
/HIPIMS
A
AlTiN+W-C:N Tool 2000-2500 1-6 0.2 150-450 450 Arc&Sputtering A
AlTiN+Al2O3 Tool 2300 2-4   450-600 1100 Arc&Sputtering A
AlCrN Tool 3000 1-10 0.35 <600 1100 ACA/CARC
/HIPIMS
A
TiSiN Tool 3500 1-3 0.5 <600 1500 ACA/CARC A
TiCN Tool 3000 1-4 0.4 <600 600 ACA/CARC
/HIPIMS
A
TiAlN Tool 2500-3500 1-6 0.4 <600 800 ACA/CARC A
TiN/TiAlN Tool 2500-3500 1-6 0.4 <600 800 ACA/CARC A
CrCN Tool 2000-2200 1-4 0.4 450-600 600 ACA/CARC A
CrN+W-C:H Tool/
Tribo
2000-2500 1-6 0.2 150-450 450 Arc&Sputtering/UBM A
CrN Tool/
Tribo
1500-2500 1-30 0.5 150-450 700 ACA/CARC/
UBM/HIPIMS
A
Cr2N Tool/
Tribo
1500-3000 1-5 0.5 200-600 700 UBM/HIPIMS A
Cr+W-C:H Tool/
Tribo
1200-2000 1-5 0.1-0.2 160-300 400 UBM A
Cr+W-C:H
+DLC
Tool/
Tribo
2000-4000 1-3 0.05-0.15 160-300 350 UBM/UBM
+PACVD
A
CrN+W-
C:H+DLC
Tool/
Tribo
2000-4000 1-3 0.05-0.15 160-300 350 UBM/UBM
+PACVD
A
Cr+W-C:H
+Si-DLC
Tool/
Tribo
1500-2500 1-5 0.02-0.1 160-300 450 UBM/PACVD A
ta-C Tool/
Tribo
4000-7000 1-3 0.05-0.15 80-200 >500 CARC C
Ti/Cr/Zr
Carbon
Nitrides
Deco 可重复颜色,例如:抛光铜,镍,不锈钢,黑色和金色 ACA A
Ti/Cr/Zr
Carbon
Nitrides
Deco 可重复颜色,例如:抛光铜,镍,不锈钢,黑色和金色
广泛的色彩范围(低L值)
UBM A
Multilayer
coatings
Deco 不同的基底涂层,例如TINCRN类金刚石DLC,在软基底
上获得的总硬度>650HV。高光泽,同时也应用于厚涂层
UBM/PACVD
/ACA
A
metallization Deco 非反应(性)PVD,纯金属的沉积 UBM A

注:
1.厚度值针对标准使用情况,可根据客户需求调整
2.设备工作温度可设定为最高工作温度下任一温度值
3.涂层系统代码:A=所有系统     C=F850F1000

应用技术 技术 说明
ACA 先进的受控阴极电弧 在整个平面阴极上电磁控制的电弧
CARC 圆弧 在圆形精细阴极上电弧
UBM 非平衡磁控溅射 在闭合区域内用线圈增强等离子体密度的溅射
DMS 对靶磁控溅射 增强等离子体密度磁控溅射,适合制备氧化物涂层,工艺过程稳定
HYBRID 电弧与溅射结合 电弧镀附着力强,溅射镀能获得特定性能
PACVD 等离子辅助化学想象沉积 等离子辅助的气相沉积
HIPIMS+ 高能脉冲磁控溅射 适合工业应用,非常高的等离子体离下获得良好结合力和涂层致密度

应用行业:精密模具业(冲压模具、剪切模具、标准件模具、成型模具等)、工具行业(钻头、硬质合金、铣头、拉刀、丝锥和齿轮刀具等),汽车工业(活塞、活塞环、合金轮毂等)。

广泛应用于发动机零部件,有色金属切削刀具,有色金属及不锈钢等成型冲压模具,滑动密封部件,半导体行业模具,注塑模具,纺织行业等。

塑料加工方面:
挤出成型
注塑成型

半导体行业:
晶片接触应用
定位系统使用的组件

赛车方面:
气门组件
活塞配件
液压件/悬挂件/变速箱

汽车行业方面:底盘部件
制动元件
传动部件
发动机部件

工程方面:风力发电技术
航空技术
医疗技术