1:产品优势 (1)可以实现磁控、PECVD、热丝、 离子辅助和多弧复合; (2)适合制备碳膜、陶瓷和金属厚膜; (3)适合高温、长时间工艺模式; 2:应用领域 (1)刀具、模具; (2)汽车零部件减磨和耐腐蚀; (3)高端轴承涂层; (4)高端双极板涂层制备。 3

产品说明技术参数 应用案例样品图片
1:产品优势
(1)可以实现磁控、PECVD、热丝、 离子辅助和多弧复合;
(2)适合制备碳膜、陶瓷和金属厚膜;
(3)适合高温、长时间工艺模式;
2:应用领域
(1)刀具、模具;
(2)汽车零部件减磨和耐腐蚀;
(3)高端轴承涂层;
(4)高端双极板涂层制备。
3:技术参数
(1)PVD兼容PECVD工作模式。单室装炉量50-100片,1炉/4小时;半连续线模式,1片/分钟。
(2)技术指标:1.5MPa,接触电阻小于3mΩ;300mV, 80℃,腐蚀电流0.2μA。
每炉100片,4小时/炉。
  1. 工作产量:12万片/年以上。
 
三、商业模式:
1:OEM代工涂层加工;
2:设备定制和工艺支持;
3:合资办厂。