大面积溅射流水线，立式设计，避免了靶材和溅射样品之间的污染问题；传动采用磁流体密封轴承，磁悬浮定位，样品运行稳定，降低了
4in.三靶聚焦共溅射镀膜系统，可以满足多组份或多层金属和化合物溅射镀膜，样品台同时具备公转和自传功能，可以同时安装多
FE系列超高真空插板阀适用于高真空和超高真空系统中用来切断和接通气流，是真空系统中重要元件之一。其广泛应用于电子、冶
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