光学镀膜机

       光学镀膜机由电脑自动化控制，界面设计简易操作，超高再现性镀膜，配置水晶传感器膜厚计，自动化蒸镀系统，实现参数录入、过程监控及数据存储等功能，强化生产管理，降低生产成本，可镀制金属、化合物、氧化物，膜层具有良好的光谱曲线稳定性。该镀膜机利用电子束蒸发源技术，装配2套电子枪，产生高热量使镀材蒸发，高性能光学厚膜监控仪与计算机结合，实行智能控制，可达到超高精度的光学厚膜，加装自动反面设计，可缩短蒸镀作业时间，达到高效产能并减低生产成本，采用电气控制模块化组合，便于维护，工件架自动旋转。

       该镀膜设备广泛应用于镀制各种精密光学膜、电学膜，如激光镜、树脂镜片、各种滤光片，冷光膜、分光膜、减反膜、太阳保护膜、硅片镀膜及各种金属膜。

真空室	Ф1100×1520mm(H)	Ф1300×1610mm(H)	Ф1550×1800mm(H)	Ф1800mm×1920mm(H)
工件架	Ф950mm	Ф1130mm	Ф1400mm	Ф1600mm
工架转速	10rpm to 50rpm(可变)		10rpm to 30rpm(可变)
膜厚控制	光学膜厚监控仪（波长范围350nm to 1100nm，反射式/透射式可选）
膜厚计	XTC/3+6点式水晶传感器
蒸发源	电子枪2套	yle="text-align: center; ">电子枪2套	yle="text-align: center; ">电子枪2套	yle="text-align: center; ">电子枪2套
离子源	17cmRF离子源	17cmRF离子源	17cmRF离子源	23cmRF离子源
排气系统	机械泵+扩散泵/分子泵+低温水气泵（或2个冷凝泵）
性能
达到压力	7.0×10-5Pa以下	yle="text-align: center; ">7.0×10yle="text-align: center; ">-5yle="text-align: center; ">Pa以下	yle="text-align: center; ">7.0×10yle="text-align: center; ">-5yle="text-align: center; ">Pa以下	yle="text-align: center; ">7.0×10yle="text-align: center; ">-5yle="text-align: center; ">Pa以下
排气时间	20分(大气压～1.3×10-3Pa)	15分(大气压～1.3×10-3Pa)	20分(大气压～1.3×10-3Pa)	20分(大气压～1.3×10-3Pa)
基板温度	最高350℃	yle="text-align: center; ">最高350℃	yle="text-align: center; ">最高350℃	yle="text-align: center; ">最高350℃
工作条件
电源	3相100KVA	3相104KVA	3相120KVA	3相150kVA
水流量	120升/分以上	140升/分以上	180升/分以上	220升/分以上
空气压力	0.5MPa以上	yle="text-align: center; ">0.5MPa以上	yle="text-align: center; ">0.5MPa以上	yle="text-align: center; ">0.5MPa以上