卧/立式连续磁控溅射镀AZO膜生产线共设计有七个真空腔体部分，第一部分为进口室，第二部分为进口缓冲室，第三部分为进口传送室，第四部分为工艺室，第五部分为出口传送室，第六部分为出口缓冲室，第七部分为出口室；两对采用PCU04闭路环控制的中频孪生Si靶，
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卧/立式连续磁控溅射镀AZO膜生产线共设计有七个真空腔体部分，第一部分为进口室，第二部分为进口缓冲室，第三部分为进口传送室，第四部分为工艺室，第五部分为出口传送室，第六部分为出口缓冲室，第七部分为出口室；两对采用PCU04闭路环控制的中频孪生Si靶，形成高质量的隔离SiO2层；十对圆柱AZO靶，实现高质量的AZO透明导线膜；设备设计加工尺寸为宽1100mm，长1400mm的平面基板材料，生产加工周期可优化到60－120秒；生产线采用分子泵抽气形成气氛隔离的先进设计，生产线采用涡轮浮分子泵以获得高效的隔离、稳定的抽速和均匀的气体分布。
该生产线运用在薄膜太阳能电池上，透明导电膜用为减反射层和透明电极使用，可以提高太阳能的转化效率，用AZO薄膜代替ITO薄膜，不仅可以降低生产成本，而且无毒环保，膜层性能更加稳定。
1．极限真空：7x10-4Pa.
2．生产周期40~120秒/架
3．基本架尺寸：859*1500mm (可以根据要求定做)
4．膜层均匀性：±2%
5．膜层稳定性：达到国际标准- 该生产线运用在薄膜太阳能电池上，透明导电膜用为减反射层和透明电极使用，可以提高太阳能的转化效率，用AZO薄膜代替ITO薄膜，不仅可以降低生产成本，而且无毒环保，膜层性能更加稳定。